第55回研究会 プログラム(2020.3.2-3)

開催日時:2021年3月2日(火) 13:00 ~ 3日(水)
開催場所:オンライン会議

第1日目: 3月2日(火)

  • 13:00 ~ 13:30参加受付
  • 13:30 ~ 13:35開会挨拶
    伊藤
  • 13:35 ~ 13:40オンライン講演会における注意事項
    牧野
  • 依頼講演
    • 13:40 ~ 14:20材料データプラットフォームとしての計測データの収集・判読化・付加価値化・共用の処理の自動化
      吉川英樹(物質・材料研究機構)
    • 14:20 ~ 15:00最新のレーザー技術を用いた「第2世代」レーザーSNMSの開発と展望
      坂本哲夫(工学院大学)
    • 15:00 ~ 15:20休憩
  • テーマ講演-FIB-SIMS-1
    • 15:20 ~ 16:00FIB-SEMに搭載したTOF-SIMS測定と応用
      村田薫(日本エフイー・アイ株式会社)
  • テーマ講演-標準化-1
    • 16:00 ~ 16:40標準物質と表面分析(仮)
      黒河明(産業技術総合研究所)
  • 16:40 ~ 17:30休憩
  • 17:30 ~ 19:30懇親会

第2日目: 3月3日(水)

  • 9:30 ~ 10:00参加受付
  • テーマ講演-標準化-2
    • 10:00 ~ 10:40ISO/TR-22335:2007 スパッタ速度の測定法ーメッシュレプリカ法 について(仮)
      奥村洋史 (三菱マテリアル株式会社)
    • 10:40 ~ 11:20ISO14701:2018 X線光電子分光法によるシリコン酸化膜の測定方法について(仮)
      ○山内 康生、大泉 翔也、大西 里佳(矢崎総業(株))更新
    • 11:20 ~ 12:00相互校正法による酸化物薄膜の膜厚測定
      牧野久雄(高知工科大学)
  • 12:00 ~ 13:30- 昼食 -(研究会では準備いたしませんので各自でお取りください)
  • テーマ講演-標準化-3
    • 13:30 ~ 14:10Thickness measurement of ultra-thin HfO2 films by mutual calibration
      Kyung Joong Kim (Korea Research Institute of Standards and Science)
    • 14:10 ~ 14:50SIMSの国際標準化と二元有機物の定量法
      〇高野明雄(トヤマ)、黒河明(産総研)、青柳里果(成蹊大)
    • 14:50 ~ 15:05休憩
  • テーマ講演-FIB-SIMS-2
    • 15:05 ~ 15:45FIB-SEMに搭載したTOF-SIMSの測定事例と今後の応用
      鈴木直久 (株式会社東陽テクニカ)
    • 15:45 ~ 16:15FIB-TOFによる有機・無機ハイブリッド材料の断面観察(仮)
      飯田真一(アルバック・ファイ株式会社)
  • 16:15 ~ 16:20連絡事項
    伊藤
  • 16:20 ~ 16:25閉会挨拶
    永富

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