JSA Vol.12 No.1 Pages 24-45 連載(講義)

電子光学入門
- 電子分光装置の理解のために -
(第4回)

嘉藤 誠
日本電子(株) 〒196-8558 東京都昭島市武蔵野3-1-2
(2005年1月31日受理)
Abstract
電子分光系において,電子ビームの輸送のために静電レンズがもちいられる場合が多くあります.また電子の加減速を行う際には,必然的にレンズ作用が伴い,よってそのような系は静電レンズとしての扱いが必要です.今回は静電レンズの近軸理論を導き,これをもとにしてレンズとしての基本的なはたらきを調べます.電子分光系の解析のためにエミッタンスの概念が不可欠ですが,これも近軸理論をもとに議論します.



Serials

Introduction to Electron Optics for the Study of Energy Analyzing Systems (4)
M. Kato
JEOL Ltd., 3-1-2 Musashino, Akishima, Tokyo 196-8558
(Received:January 31, 2005)
Abstract
In the instrumens of electron spectroscopy, electrostatic lenses are commonly used for the transport of electron beams. Acceleration or deceleration of eletrons is often required, and such a process is inevitably accompanied by lens action. In this chapter, we first derive the paraxial theory of electrostatic lenses, and then investigate their optical characteristics in detail. The concept of emittance is important in the systems for spectroscopy. This is also studied under the paraxial theory.