ISO 規格を基礎とした表面分析の実際

− 実用表面分析セミナー '07 −

プログラム

7月26日（木）
１．12:00 - 13:00 波長分散電子線マイクロアナライザ(EPMA)の国際標準化の動向
　　　村山 順一郎（住友金属テクノロジー�蝓�
２．13:00 - 14:00 SEMの像倍率校正方法と、像分解能評価への取り組み
　　　斉藤 昌樹（日本電子�蝓�
　　　　　　（　休　憩　）
３．14:10 - 15:05 AES, XPSの装置性能パラメータの記述法　　-　装置比較のために　-
　　　鈴木 峰晴（アルバック・ファイ）
４．15:05 - 16:00 分析試料の取付け法と帯電補償・補正に関する記述法
　　　當麻 肇（日産アーク）
５．16:00 - 16:55 XPSのバックグラウンド処理法 -ISO/TR 18392:2005の紹介-
　　　福島 整（物質・材料研究機構）
7月27日（金）
１．10:00 - 10:55 AES, XPS分析における空間分解能と分析領域の決定法
　　　井上 雅彦（摂南大学）
２．10:55 - 11:50 XPSとAESの強度軸の繰り返し性と恒常性の評価法　　-　正しい計測のために　-
　　　荒井 正浩（住友金属工業）
３．11:50 - 12:45 XPSとAESの強度軸の直線性の評価法　　-　正しい計測のために　-
　　　吉原 一紘（アルバック・ファイ）
　　　　　　（　昼　食　）
５．13:45 - 14:40 XPSのエネルギー軸の校正法　　-　状態分析のために　-
　　　橋本 哲（JFEテクノリサーチ）
６．14:40 - 15:35 AESのエネルギー軸の校正法　　-　元素分析と状態分析のために　-
　　　境 悠治（日本電子）
４．15:35 - 16:30 AES, XPSにおける感度係数法による定量　　-　定量性を高めるために　-
　　　田沼 繁夫（物質・材料研究機構）
７．16:30 - 17:00 総合討論