| １．講演会（２月１７日）：けやき（虎ノ門パストラル本館8F） |
| タイトル：薄膜・表面処理皮膜および界面分析の現状と可能性 |
| (Possibilities of Surface and Interface Analysis for Thin Fims and Coating) |
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Title |
Speaker |
| AM session : 10:00-12:05 |
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Opening remark |
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| 10:05-11:00 |
Progress in Quantitative Sputter Depth Profiling using the MRI-model |
Prof. S. Hofmann
(Max-Planck-Institut) |
| 11:10-12:05 |
Damage profiling of low energy ion sputter Si surface |
Prof. H. J. Kang
(Chungbuk National Univ.) |
| PM session 13:30-17:30 |
| 13:30-14:25 |
III-V 族化合物半導体表面及び硫黄処理表面分析
−組成、構造、電子状態− |
福田 安生(静大) |
| 14:25-15:20 |
SIMSによるシャロードパントの分析 |
三輪 司郎（ソニー） |
| 15:35-16:30 |
透過型電子顕微鏡による合金化溶融亜鉛めっき鋼板の微細構造解析 |
加藤 丈晴
（ファインセラミックセンター） |
| 16:30-17:25 |
ＥＰＭＡによる状態分析 |
元山 宗之
（兵庫県立工業技術センター） |
| 18:00〜：懇親会（しらかば／虎ノ門パストラル本館8F） |
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| ２．20回研究会（２月１８日）：けやき（虎ノ門パストラル本館8F） |
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講演タイトル |
講師 |
| 午前 話題提供：9:15-11:55 |
| 9:25-10:15 |
IMFP |
田沼 繁夫（物材機構) |
| 10:15-10:30 |
標準化の取り組み |
鈴木 峰晴（NTT-AT） |
| 10:30-10:50 |
SERD(シリサイドのスパッタ収率） |
吉武 道子（物材機構) |
| 11:00-11:15 |
低速イオン銃を用いた高分解能深さ方向分析 |
井上 雅彦（摂南大） |
| 11:15-11:35 |
損傷 |
當麻 肇（日産アーク） |
| 11:35-11:55 |
バックグラウンド |
城 昌利（産総研） |
| 午後 プロジェクト審議：13:30-16:10 |
| 13:30-15:30 |
SERD、透過関数、バックグラウンド、損傷、その他 |
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| 15:30-16:10 |
WG報告、その他 |
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