第１４回表面分析研究会プログラム
−局所表面分析は何処まで可能か？−２０００年６月８日（木）１３時〜６月９日（金）１２時
| 13:00-13:30 | 事務連絡 | ||
| 13:30-14:30 | 特別講演 司会：橋本哲（鋼管計測） | ||
| 分析電子顕微鏡による微小部分析 | 渡辺万三志 | （九大） | |
| 14:30-15:30 | 話題提供 | ||
| ＴＥＭ−ＥＥＬＳによるゲート酸化膜の評価 | 笹川薫 | （コベルコ科研） | |
| AlGaAs/GaAs 多層膜断面での ToF-SIMS イメージング | 阿部芳己 | （シーエーシーズ） | |
| 弾性背面散乱電子によるＡＥＳエネルギー校正法 ：10-1200 eV/15 meV （改良したＣＭＡを用いて） | 後藤敬典 | （名工大） | |
| 15:30-16:16 | プロジェクト経過報告 | ||
| スパッタエッチングレート | |||
| Ｘ線照射損傷 | |||
| データベース | |||
| テクニカルレポートなど | |||
| 16:15-16:30 | 休憩 | ||
| 16:30-18:00 | 招待講演 司会：一村信吾（電総研） | ||
| 表面分析と私（仮題） | 志水隆一 | （大工大） | |
| 18:00-20:00 | 夕食 | ||
| 20:00-22:00 | その他 | ||
| 材料別分科会 | |||
| ＴＡＳＳＡ審議など | |||
| 講演会 司会：阿部芳己（シーエーシーズ）、 佐藤和彦（帝人） | |||
| 9:00-9:30 | 工業材料評価におけるＸＰＳ局所分析 | 林栄治 | （東レＲＣ） |
| 9:30-10:00 | ＡＥＳを用いた鋼中析出物分析における 空間分解能と軽元素定量の検討 | 槙石規子 | （川鉄） |
| 10:00-10:30 | ＦＩＢ−ＳＩＭＳによる局所分析 | 尾張真則 | （東大） |
| 10:30-11:00 | ＦＩＢによるＡＥＳ分析用試料作製 | 茂木カデナ | （ＮＴＴ−ＡＴ） |
| 11:00-11:20 | 総合討論 | ||
| 11:20-12:00 | 連絡事項、その他 |
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