表面分析国際標準化セミナー

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「ISO規格を用いた実際的な表面分析は如何に行われるか？」

主催 ： 表面分析研究会(SASJ)，表面化学分析国際標準化委員会(JSCA)

日時 ：２００２年９月５日（木）〜６日（金）

会場： 幕張メッセ国際会議場　３０２号室（５日），１０１号室（６日）
  　　（分析展２００２と同時開催）

参加費：無料

プログラム：

９月５日	13時−17時	国際会議場３０２号室
1.	13:10 - 13:40	「表面分析の国際標準化の歩み」		吉原一紘(物質・材料研究機構)
2.	13:40 - 14:40	「試料の取り扱いとデータ処理」
		1）試料前処理とその取り扱い		一村信吾（産総研）
		2）データ処理とその利用法		古川洋一郎（電気化学工業）
3.	15:00 - 17:00	「各種電子分光法による分析の実際」
		1）オージェ電子分光法(AES)における 　　 エネルギー軸の校正およびX線光電 　　 分光法(XPS)におけるエネルギー軸 　　 の校正		橋本哲（鋼管計測）
		2）深さ方向分析の最適化およびスパッ 　　 タ深さの測定		鈴木峰晴(NTT-AT)
		3）XPS分析におけるチャージアップの 　　 防止とその報告		田中彰博（アルバックファイ）
		4）感度係数法による定量分析の実際		田沼繁夫（物質・材料研究機構)
９月６日	13時-16時30分	国際会議場１０１号室
4.	13:00 - 14:00	「SIMS分析」
		1）Si中のBの分析
		2）イオン注入試料を用いた感度係数 　　 の決定
		3）デルタ層を有する試料を用いた深さ 　　 分解能の推定法		本間芳和（NTT）
5.	14:00 -14:40	「グロー放電発光分光法」
		1）GDOESの使い方
		2）ZnとAl基材の金属膜の厚さと組成 　　 の決定		鈴木茂（東北大）
6.	15:00 - 15:40	「全反射蛍光Ｘ線分析(TRXRF)」
		1）Siウエハー上の汚染の試験方法
		2）化学的な試料調整法		籔本周邦（NTT-AT）
7.	15:40 - 16:30	「SEM・EPMAの標準化」		小林尚（アルバックファイ）

申込方法：当日会場前までお越しください。

詳　細：２００２分析展 ホームページ
　　　　 ２００２分析展ＪＡＩＭＡコンファレンス ページ
　　　　 ２００２分析展ＪＡＩＭＡコンファレンス(プログラム) ページ

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