第40回表面分析研究会（2013年2月21−22日）でのWG活動について

SASJ WG担当 　　　　
永富隆清（旭化成株式会社）

　PSA-12においてもWG討議の時間を確保いたします．各WGの活動内容等についてはWG活動紹介のWebページで確認をお願いします．過去のWG討議での討議予定や討議に用いられた資料，機関誌（JSA: Journal of Surface Analysis)への報告記事などを閲覧できるようにしています．当日WG討議へ参加される場合は事前にご確認いただけますと幸いです．では，皆様のご参加をお待ちしております．
　なお，各WGの討議予定は以下の通りです（随時更新します）．

◆SASJ-WG活動紹介
　こちらのページをご覧ください．

◆ToF-SIMS WG
　TOF-SIMS WGでは現在発足当時からのテーマである表面に存在する化学種の同定に必要な質量較正手順の標準化を目指し，これまで共有化してきたナレッジのまとめとしてのラウンドロビンテストを行っています．
　次回のWG討議では，以下を予定しています．

　1.RRT-10以降の活動の進捗
　　　新規質量較正法の探索（進捗）
　2.質量較正に与える因子の深堀
　　　初速を考慮した質量校正に関する論文の紹介

◆DP-WG
　深さ分析WGでは，現在，高深さ分解能・高感度スパッタ深さ分析を実用レベルで実現することを目的とした活動を行っています．そのために，まず基本となる，イオンビームのアライメント方法について検討を行っています．
　また，「界面」評価に関する実用的な定義作成を目指した活動も行っています．まず分析担当者の要望を把握するためのアンケートを実施し，現場の声を反映させた定義となるよう検討を行っています．
　次回のWG討議では，以下を予定しています．

　1.多層膜でのRRに関して
　2.匠の技レシピの改善
　3.勉強会或いは検討会の提案


◆XPS-WG
　XPS-WGではイオンスパッタ後表面の分析において「帯電」や「スパッタダメージ」をうけたスペクトルの変化などのために化学状態分析を行うことが困難になるという現状に対し，具体的な課題を抽出し，課題解決につながる取組を行っています．
　現在、ダメージ低減化を目指したスパッタ方法として斜入射スパッタの検討を始めています．
　次回WGでは以下の討議を予定しています．

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