PSA-11 (10月17−18日)でのWG活動について

SASJ WG担当     
永富隆清(大阪大学)


 PSA-11 においてもWG討議の時間を確保いたします.各WGでの討議内容は以下の通りとなっております.ご確認の上,積極的な討議への参加をお待ちしております.

 なお,WG活動の趣旨等については,第36回研究会に説明がございますのでそちらをご覧ください.

◆ToF-SIMS WG
 ToF-SIMS WGでは現在発足当時からのテーマである表面に存在する化学種の同定に必要な質量較正手順の標準化を目指し,これまで共有化してきたナレッジのまとめとしてのラウンドロビンテストを行っています.また,上記質量較正手順の標準化に続くテーマを探索中です.
 今回の研究会におけるWG討議では以下を予定しています.

 1. 上記ラウンドロビンテストの進捗
 2. 質量較正に続くテーマの検討

 質量較正に続くテーマとしては”表面化学種の定量的解析”などが挙げられています. 次期テーマについてご意見,ご提案のある方の参加をお待ちしております.

◆DP-WG
 深さ分析WGでは,現在,高深さ分解能・高感度スパッタ深さ分析を実用レベルで実現することを目的とした活動を行っています.そのために,まず基本となる,イオンビームのアライメント方法について検討を行っています.
 また,「界面」評価に関する実用的な定義作成を目指した活動も行っています.まず分析担当者の要望を把握するためのアンケートを実施し,現場の声を反映させた定義となるよう検討を行っています.
 次回のWG討議では,以下を予定しています.

 1. 「界面」に関するアンケート結果に関して
 2. イオンガン調整の共通レシピに関して

◆XPS
 XPS-WGにおいては第37回表面分析研究会(2011.6@大阪)で新規テーマとして「イオンスパッタ後表面の化学状態分析」が提案されました.イオンスパッタ後表面の分析では「帯電」や「スパッタダメージ」をうけたスペクトルの変化などのために化学状態分析を行うことが困難になるという現状に対し,具体的な課題を抽出し,課題解決につながる取組を行いたいと考えています.
 次回WGでは以下の討議を予定しています.

 1. ダメージを低減するスパッタ方法の検討
 2. ダメージを受けたスペクトルを解析するときの課題


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