JSA Vol.12 No.1 Pages 9-15
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Auスパッタエッチングにおけるスパッタ温度と表面ナノ凸凹形成
吉武　道子，Chandra Bose
物質・材料研究機構 〒305-0003 茨城県つくば市桜3-10
(2005年1月28日受理；2005年2月17日掲載決定）
Abstract
Au(111)表面を様々な温度でアルゴンイオンスパッタし，スパッタエッチング後の表面の凹凸をSTMにより観察した．スパッタ温度によっていろいろな大きさ・深さのクレーター（表面微少凹凸）が生成した．これらの凹凸（ナノピット）の大きさや深さの分布を解析した．ナノピットは表面におけるAu原子の拡散によって形成され，温度によって活性化される拡散の種類が異なるため，特異的に非常に深いナノピットが形成される温度が存在する．



The effect of sputtering temperature on the surface roughness at nano-scale during Au sputter etching
Michiko Yoshitake and Chandra Bose
National Institute for Materials Science 3-13, Sakura, Tsukuba, 305-0003 Japan
(Received: January 28, 2005; Accepted: February 17, 2005)
Abstract
An Au(111) surface was irradiated with 500eV argon ions at various temperatures.The resulting surface showed the formation of pits with nano-meter scale (nano-pits). The surface morphology of nano-pits formed after 6ML removal by ion irradiation under various temperatures was studied with STM. The depth and size distributions of pits at various irradiation temperatures were analyzed. There was a specific irradiation temperature at which the depth of pits became very deep in comparison with other temperatures. The results were compared with other fcc metals.