JSA Vol.11 No.2 Pages 91-116
連載(講義)
電子光学入門
- 電子分光装置の理解のために -
(第2回) 嘉藤 誠日本電子(株) 〒196-8558 東京都昭島市武蔵野3-1-2
(2004年5月27日受理)
Abstract
電子分光系は,電子顕微鏡の光学系に比べてビームの開き角が大きく,そのため収差を性格に評価するためのレイトレースの手法が重要になります.今回はまずレイトレースのための運動方程式,およびそこから時間を消去した軌道方程式の導出を述べます.その際は相対論補正のための処方がとくに重要になります.次に,軸対照な磁場がもつレンズ作用を詳しく述べます.一様な磁場分布中の電子軌道を調べることで,磁場を用いたレンズがなぜ収差をもつかが明らかになります.
Serial Lecture
Introduction to Electron Optics for the Study of Energy Analyzing Systems (2)
M. Kato
JEOL Ltd., 3-1-2 Musashino, Akishima, Tokyo 196-8558
(Received: May 27, 2004)
Abstract
Energy analyzing systems are characterized by their large acceprance angles of electrons, and thus precise evaluation of geometrical aberrations is necessary. We begin with the derivation of several trajectory equations suitable for ray tracing, and the precription of relativistic correction is explained in detail. Lens action of a magnetic lens is then investigated. Analysis of electron trajectories in a uniform magnetic field shows the origin of the aberration of a magnetic lens.